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示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)

簡要描述:隨著現(xiàn)代化和城市化進(jìn)程的日益加深,人們在室內(nèi)的時間越來越多,因而對室內(nèi)空氣品質(zhì)的要求也日益提高。
室內(nèi)空氣品質(zhì)取決于很多方面,包括溫濕度、二氧化碳、揮發(fā)性有機(jī)化合物的濃度等。而用于調(diào)節(jié)和改善室內(nèi)空氣品質(zhì)的有效方式之一就是示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)。

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應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,石油,地礦,能源11

示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)概述

隨著能量效率的提高,以及排氣通風(fēng)設(shè)施的物理限制變得更加明顯,半導(dǎo)體設(shè)備的排氣通風(fēng)的優(yōu)化變得越來越重要。設(shè)備的排氣通風(fēng)設(shè)計(jì)不合理,可能會造成操作人員的傷亡,引起設(shè)備乃至整個工廠的燒毀。

半導(dǎo)體行業(yè)需要測量機(jī)臺通風(fēng)效率,滿足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗(yàn)方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導(dǎo)體裝備通風(fēng)效率。

SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,對SF6檢測儀的檢測精度要求較高。


示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)

檢測方案

高靈敏度的光聲光譜氣體檢測系統(tǒng),是一套用于在線實(shí)時測量示蹤氣體濃度變化,從而評估通風(fēng)效率的準(zhǔn)確、可靠、高效的解決方案。

光聲光譜氣體分析儀可以同時檢測最多9種氣體和水汽,檢測氣體種類是從一個超過300種的氣體數(shù)據(jù)庫中由用戶選擇。除了SF6等示蹤氣體之外,還可以同時檢測室內(nèi)其它的氣體濃度,比如CO2、甲醛、苯系物等VOC,為評價半導(dǎo)體機(jī)臺通風(fēng)效率提供更多的數(shù)據(jù)支持。

整個測量系統(tǒng)由光聲光譜氣體檢測儀、多點(diǎn)采樣器、專用軟件組成;在用戶要求的情況下,還可以集成釋放裝置MFC,管路等一體化解決方案。


示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測系統(tǒng)特性

  • 光聲光譜法原理,懸臂梁探測技術(shù)

  • 可同時測量SF6等多種示蹤氣體及VOC

  • 檢測限低,測量精度高(ppb)

  • 測量響應(yīng)快

  • 多點(diǎn)采樣器,可擴(kuò)展12-64個采樣點(diǎn)

  • 無需預(yù)處理、無耗材、無載氣

  • 可定制釋放裝置和管路


應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能檢測(國際半導(dǎo)體協(xié)會SEMI S6標(biāo)準(zhǔn))

  • SF6泄露檢測


 
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